動態干涉儀Kaleo-Multiwave
簡 述:
有別于基于傳統Fizeau 干涉儀的方法,采用位相檢測方法直接構建的動態干涉 儀既不需要移動待測元件多次曝光,也不需要采用偏振等復雜的光學手段,針 對待測元件進行一次測量即可獲得其反射面型或透過波差;Kaleo-Multiwave 多 色動態干涉儀可用于光學元件面型檢測、透過波差測試、大型望遠鏡系統測試 及實時調整等。大動態范圍像差測試能力使其可測平面/ 球面波而無需中繼鏡, 無色差檢測能力允許使用多個波長甚至白光進行測試。 Kaleo-Multiwave 集成了可切換波長的準直光源,可以對大口徑鏡片進行直接或對比測量
品 牌:
法國 PHASICS
產品型號:
- Kaleo-Multiwave
有別于基于傳統Fizeau 干涉儀的方法,采用位相檢測方法直接構建的動態干涉儀既不需要移動待測元件多次曝光,也不需要采用偏振等復雜的光學手段,針對待測元件進行一次測量即可獲得其反射面型或透過波差;Kaleo-Multiwave 多色動態干涉儀可用于光學元件面型檢測、透過波差測試、大型望遠鏡系統測試及實時調整等。大動態范圍像差測試能力使其可測平面/ 球面波而無需中繼鏡,無色差檢測能力允許使用多個波長甚至白光進行測試。
Kaleo-Multiwave 集成了可切換波長的準直光源,可以對大口徑鏡片進行直接或對比測量。

Fizeau 干涉儀(左)與Kaleo-MTF(右)測試鏡片結果比較
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光路結構 |
雙通路測試 |
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測量能力 |
反射波前面型測量,透射元件波差測量 |
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光源 |
標準:1/2 路工作波長,最高可集成 8 路波長 |
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波長選擇 |
193nm ~ 14 m,如 266、355、405,550、625、780、 940、1050nm,紅外 1.55、2、3.39、10.6 m 等 |
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有效口徑 |
5.1”,130mm |
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光學中心高度 |
108mm |
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對準功能 |
實時相位 / 澤尼克多項式顯示 |
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視場角對準范圍 |
±2° |
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可調對焦范圍 |
±2.5m |
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使用環境 |
無需隔振 |
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RMS 可重復性 |
<0.7 nm |
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測量精度 |
80nm p-v |
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動態范圍(離焦值) |
500 條紋 (SFE = 150 m) |
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可測反射率范圍 |
4% ~ 100% |

Fizeau 干涉儀(左)與Kaleo-MTF(右)測試鏡片結果比較




































































































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