硅晶圓檢測(cè)儀SIT-200
簡(jiǎn) 述：
SIT-200 硅晶圓檢測(cè)儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計(jì)量的方法設(shè)計(jì)制造的用于硅晶圓厚度檢測(cè)的干涉儀。與常規(guī)測(cè)厚采用寬帶光源不同，可調(diào)諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測(cè)量的動(dòng)態(tài)范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測(cè)量，例如在濕刻過(guò)程中以及濕刻之后的晶圓。
品 牌：
日本 Alnair Labs
產(chǎn)品型號(hào)：
- SIT-200
SIT-200 硅晶圓檢測(cè)儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計(jì)量的方法設(shè)計(jì)制造的用于硅晶圓厚度檢測(cè)的干涉儀。與常規(guī)測(cè)厚采用寬帶光源不同，可調(diào)諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測(cè)量的動(dòng)態(tài)范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測(cè)量，例如在濕刻過(guò)程中以及濕刻之后的晶圓。
• 全光學(xué)，非接觸式晶圓厚度傳感
• 高動(dòng)態(tài)范圍，可測(cè)量不規(guī)則表面
• 支持濕刻制程中實(shí)時(shí)測(cè)量
• 高靈敏度、高準(zhǔn)確度、高速度
• 遠(yuǎn)程控制
測(cè)量原理
技術(shù)指標(biāo)
技術(shù)指標(biāo)
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可測(cè)樣品 |
硅晶圓 |
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可測(cè)厚度范圍 |
10 - 500 (n=3.5) |
m |
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精密可調(diào)諧激光 |
1515 - 1585 |
nm |
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光功率 |
0.6 |
mW |
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指引光 |
紅色，Class 1M |
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測(cè)量時(shí)間 |
最短 20 |
ms |
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可重復(fù)性 |
<0.1 (3-σ) |
m |
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監(jiān)控輸出 |
干涉信號(hào)輸出 |
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PC 界面 |
Ethernet |
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精密掃頻激光光源以高速度調(diào)諧激光波長(zhǎng)。樣品前、后表面反射的激光的干涉信號(hào)經(jīng)過(guò)PD 探測(cè)后，根據(jù)波長(zhǎng)- 干涉信號(hào)強(qiáng)度的關(guān)系即可得到晶圓厚度。
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