特長 Features
測量項目 Measurement item
構成圖
半導體膜厚測試儀OPTM 式樣Specifications
※ 上述式樣是帶有自動XY平臺。
· 膜厚測量中必要的功能集中于頭部
· 通過顯微分光高精度測量絕對反射率（多層膜厚、光學常數）
· 1點只需不到1秒的高速tact
· 實現了顯微下廣測量波長范圍的光學系（紫外～近紅外）
· 通過區域傳感器控制的安全構造
· 搭載可私人定制測量順序的強大功能
· 即便是沒有經驗的人也可輕松解析光學常數
· 各種私人定制對應（固定平臺，有嵌入式測試頭式樣）
測量項目 Measurement item
· 絕對反射率測量
· 膜厚解析
· 光學常數解析（n：折射率、ｋ：消光系數）
構成圖
※ release 時期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3預定2016年9月。
＊ 膜厚范圍是SiO2換算。
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